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蘇州創視智能技術有限公司 激光三角位移傳感器|光譜共焦位移傳感器|白光干涉薄膜測厚傳感器|線激光位移傳感器
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蘇州創視智能技術有限公司是一家專業從事精密測量傳感器研發、生產、銷售及服務的技術研發驅動型企業,由來自國內外高校的博士、碩士團隊創立于蘇州市吳中區木瀆經濟開發區。公司秉承“技術研發驅動,應用需求導向,服務客戶優先”的原則,致力于成為“中華自主品牌”的“精密測量”,愿同各方一道,為國內儀器儀表及精密傳感器的產業發展添磚加瓦。

蘇州創視智能技術有限公司公司簡介

海淀區高速膜厚儀 蘇州創視智能技術供應

2023-11-08 07:13:48

干涉法作為面掃描方式可以一次性對薄膜局域內的厚度進行解算,適用于對面型整體形貌特征要求較高的測量對象。干涉法算法在于相位信息的提取,借助多種復合算法通??梢赃_到納米級的測量準確度。然而主動干涉法對條紋穩定性不佳,光學元件表面的不清潔、光照度不均勻、光源不穩定、外界氣流震動干擾等因素均可能影響干涉圖的完整性[39],海淀區高速膜厚儀,使干涉圖樣中包含噪聲和部分區域的陰影,給后期處理帶來困難,海淀區高速膜厚儀,海淀區高速膜厚儀。除此之外,干涉法系統精度的來源——精密移動及定位部件也增加了系統的成本,高精度的干涉儀往往較為昂貴。白光干涉膜厚測量技術可以實現對薄膜的三維成像和分析。海淀區高速膜厚儀

根據以上分析可知,白光干涉時域解調方案的優點是:①能夠實現測量;②抗干擾能力強,系統的分辨率與光源輸出功率的波動,光源的波長漂移以及外界環境對光纖的擾動等因素無關;③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關;④結構簡單,成本較低。但是,時域解調方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償,所以掃描裝置的分辨率將影響系統的精度。采用這種解調方案的測量分辨率一般是幾個微米,達到亞微米的分辨率,主要受機械掃描部件的分辨率和穩定性限制。文獻[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54μm。當所測光程差較小時,F-P腔前后表面干涉峰值相距很近,難以區分,此時時域解調方案的應用受到限制。海淀區高速膜厚儀白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學薄膜設計中的薄膜參數測量。

光譜擬合法易于測量具有應用領域,由于使用了迭代算法,因此該方法的優缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優化算法的引入,遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數的測量。其缺點是不夠實用,該方法需要一個較好的薄膜的光學模型(包括色散系數、吸收系數、多層膜系統),但是在實際測試過程中,薄膜的色散和吸收的公式通常不準確,尤其是對于多層膜體系,建立光學模型非常困難,無法用公式準確地表示出來。在實際應用中只能使用簡化模型,因此,通常全光譜擬合法不如極值法有效。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求。

由于不同性質和形態的薄膜對系統的測量量程和精度的需求不盡相同,因而多種測量方法各有優缺,難以一概而論。將上述各測量特點總結如表1-1所示,按照薄膜厚度的增加,適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜,白光干涉輪廓儀的測量精度較低,分光光度法和橢圓偏振法較適合。而對于小于200nm的薄膜,由于透過率曲線缺少峰谷值,橢圓偏振法結果更加可靠?;诎坠飧缮嬖淼墓鈱W薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,通過使用不同的解調技術處理白光干涉的圖樣,得到待測薄膜厚度。本章在詳細研究白光干涉測量技術的常用解調方案、解調原理及其局限性的基礎上,分析得到了常用的基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調方案不適用于極短光程差測量的結論。在此基礎上,我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調技術。白光干涉膜厚測量技術可以實現對薄膜內部結構的測量。

白光掃描干涉法采用白光為光源,壓電陶瓷驅動參考鏡進行掃描,干涉條紋掃過被測面,通過感知相干峰位置來獲得表面形貌信息。測量原理圖如圖1-5所示。而對于薄膜的測量,上下表面形貌、粗糙度、厚度等信息能通過一次測量得到,但是由于薄膜上下表面的反射,會使提取出來的白光干涉信號出現雙峰形式,變得更復雜。另外,由于白光掃描法需要掃描過程,因此測量時間較長而且易受外界干擾?;趫D像分割技術的薄膜結構測試方法,實現了對雙峰干涉信號的自動分離,實現了薄膜厚度的測量。白光干涉膜厚測量技術可以對不同材料的薄膜進行聯合測量和分析。高精度膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術的精度可以達到納米級別。海淀區高速膜厚儀

白光干涉測量技術,也被稱為光學低相干干涉測量技術,使用的是低相干的寬譜光源,例如超輻射發光二極管、發光二極管等。同所有的光學干涉原理一樣,白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化,進而通過各種解調方案實現對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優點是由于白光光源的相干長度很?。ㄒ话銥閹孜⒚椎綆资⒚字g),所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值,即中心條紋,與零光程差的位置對應。中心零級干涉條紋的存在使測量有了一個可靠的位置的參考值,從而只用一個干涉儀即可實現對被測物理量的測量,克服了傳統干涉儀無法實現測量的缺點。同時,相比于其他測量技術,白光干涉測量方法還具有對環境不敏感、抗干擾能力強、測量的動態范圍大、結構簡單和成本低廉等優點。目前,經過幾十年的研究與發展,白光干涉技術在膜厚、壓力、溫度、應變、位移等等測量領域已經得到廣泛的應用。海淀區高速膜厚儀

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